真空系统设计(电输人密封连接)

发布于 2021-01-08 19:46

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.4 电输人密封连接

3.4.2电极引入密封结构

3.4.2. 1常用的低真空低电压小电流电输入密封结构

A接线柱式低电压小电流密封

图3-92和图3-93所示为普通低真空常用的接线柱式低电压小电流输人电极结构，这种结构是一般真空系统上最常采用的把电引入到真空室中的一种结构。例如在真空镀膜设备上常常用这种结构对镀膜室内的照明装置供电。

图3-92接线柱式电极(一)

1,4- 绝缘垫;2-密封圈;3- 导电柱

图3-93接线柱式电极 (二)

1- 密封圈;2- 绝缘环;3一导电柱:4-绝缘套管

B固定式绝缘套管导电杆密封

固定式导电杆密封的结构如图3-94所示。

图3-94固定式导电杆的密封结构

1- -压紧螺母;2，5-绝缘套管;

3-垫圈;4-真空密封圈

C导线的真空密封

将导线引人到真空系统或真空管壳中去，常采用永久密封引线的方法，这种永久引线基于玻璃与金属封接或金属封接-与金属的封接。图3-95 所示为棒形密封。这种密封的特点是将金属棒(钨、钼、铁镍钴等)密封在具有特殊设计形状的玻璃中以避免玻璃中产生应力。图3-96中给出了这种棒形密封导线中所通过的龙计心流。在实际使用中，导线中所载的电流小于图中曲线所标的数值。

图3-95棒形电极引人密封结构

(a)单引线式; (b)-(d)双引线式

金属线直径/mm

图3-96金属线 (棒)电极密封结构的允许电流

“钢包线;k-可伐:一-瓦康;FI8- 铁铬(18%的铬); F30-铁铬(30% 的铬)

导线密封常用的另外两种形式是芯柱密封和销钉密封，如图3-97及图3.98所示，其中芯柱是通过将包有引线的玻璃管压扁制成的;销钉密封则是采用-个玻璃圆盘，盘中的金属销钉封接成与圆盘垂直。这些密封根据它们在电子管中所放置的位置构成基底，并且可以按它们在封人真空器件中的要求而分别制成图3. 98(a)和(b)两种形状。

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