全国首条第四代半导体生产线在晋城建成并试运行

发布于 2021-09-22 22:34

日前，由晋城市光机电产业研究院主导的锑化物激光器芯片生产项目经多轮调试后，投入试运行。这是国内建成的第一条锑化物激光器芯片生产线。

走进位于晋城经济技术开发区山西智创城NO.6的锑化物激光器芯片生产项目的车间回廊，记者透过回廊玻璃看向车间内部，只见一台台高精设备前，“全副武装”的工作人员正有条不紊地紧张作业。据介绍，这个1300多平方米的车间里，包含12个超净车间，能完成从光刻、刻蚀沉积、P面电极到镀膜、贴片、老化测试、光纤耦合等全部流程。晋城市国科半导体研究所工艺工程师陈宇星告诉记者，项目从开工建设到设备采购、人才招募，前后也就几个月时间，目前已经开始试运行。

陈宇星：

锑化物半导体项目从2020年10月份开始，施工历经厂房建设，设备到厂安装调试，目前已经开始试运行，预计明年达到一万支芯片的产能，年产值可达1个亿元，建设成为全国首条第四代半导体的生产线。

陈宇星说，项目的顺利实施，离不开晋城市光机电产业研究院的大力支持。为加快项目建设，晋城市光机电产业研究院为研发团队全程代办研发机构登记注册；统筹协调中科院半导体所研发团队，设计单位，施工单位等协作配合；同时协助研发团队办理半导体原材料购买许可、员工招募、疫情防控、生产安全制度制定等工作，为项目的有序推进保驾护航。

（晋城市国科半导体研究所工艺工程师陈宇星接受采访）

陈宇星：

整个项目进展是非常快的，感谢政府做了好多工作，帮我们项目落项的时候去跑一些手续，解决了我们很多的问题。

据了解，锑化物是居于核心地位的第四代半导体材料，由它制成的激光器具有成本低、体积小、效率高、性能稳定、寿命长等优点，在极为苛刻的应用方面具有不可替代的独特优势。晋城市光机电产业研究院副院长成磊说，作为一项引领未来的核心技术，锑化物激光器的市场前景广阔，这个项目的建成也将有力推动光机电产业实现突破发展。