半导体实验室,您了解多少?

半导体工艺实验室作为一类特殊实验室，必须在封闭、洁净无污染的环境中进行。

由于仪器设备昂贵，实验过程中会产生有毒有害的废液、废水和废气，以及在半导体制造和器件测试的过程可能存在的大量安全隐患，蔚力迪坚持以规范化建设标准为标杆，建设高质量半导体实验室。

《硅集成电路芯片工厂设计规范》、《建筑设计防火规范》、《电子工业洁净厂房设计规范》、《洁净厂房设计规范》这四大规范作为半导体实验室设计的主要规范，也是蔚力迪的主要设计依据。设计师将采用BIM等软件，把您所需的管道线路更直观地模拟出来。 

半导体实验室分为五个功能区域: 纯水空调锅炉机房区、黄光区、湿法刻蚀区、氧化扩散区和镀膜区。

半导体工艺实验主要涉及微米尺度的器件和结构的制作，对实验环境有特定要求:

一是需要洁净实验室，配备专门的隔离空间及回风过滤系统，因此必须对实验场地进行特殊改造和装修。

二是需要为设备配置气动、工艺气体、吹扫气体等用途的供气管道，保证实验设备的正常运行。

常规的半导体实验室会配备：

半导体加工仪器，包括: 曝光机、净化显影机、加热板、匀胶机、湿法刻蚀实验台、FIB等离子刻蚀切割机、反应离子刻蚀机、超声清洗机、三管扩散炉及其净化塔系统、电阻蒸发镀膜机。

半导体测试仪器，包括: 半导体参数测试仪、薄膜分析仪、侧信道测试平台、单点激光平台、智能毛刺注入平台、金相显微镜等。

半导体实验室工艺涉及清洗、光刻、刻蚀、薄膜、扩散、后道等多道工艺。这些工艺过程不仅涉及设备操作过程中的电气安全问题，同时也涉及各类化学品的使用和处理问题。

建设功能完备、运行良好的半导体实验室，提供优质的科研平台，才能更好地激发科研工作者的创造潜力。

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