解读MEMS麦克风技术与设计

MEMS（微型机电体系）麦克风是供应高保真声感的微型器件，体积小，可慎密集成于电子产物中，如智内行机、智能扬声器以及耳机等电子花费品。当今，MEMS麦克风不但能够或许纪录一般的情况声响，还具有立体声、自动降噪、指向性（聚束）、语音辨认等功效。增长装备的麦克风数目即可完成这些音频功效，比方非常新智内行机中的MEMS麦克风可多达6个。隽拔的机能使MEMS麦克风使用局限广，于是产生了大批的环境趋势需要。

甚么是电容式MEMS麦克风？其工作道理是甚么？

全部麦克风（古代麦克风和MEMS麦克风）都经历柔性膜片感到声波。在声波压力下，膜片会产生位移。当今环境趋势上大片面MEMS麦克风都使用电容技术来探测声响。电容式MEMS麦克风的工作道理是丈量柔性膜片和不变背板之间的电容。声波带来的气压变更会造成膜片产生位移。气氛可穿过背板上的小孔，所以背板的地位不会产生转变。在膜片挪动的过程当中，膜片与不变背板之间间隔会产生转变，非常终造成两者之间电容值的转变，这种电灯号的变更能够被纪录和剖析。

 

电容式MEMS麦克风存在差别的范例，如：

• Ÿ单纯背板麦克风

• Ÿ双层背板麦克风，背板分置膜片双侧

• Ÿ双层膜片麦克风的背板封装在两层膜片之间，膜之间能够是真空的。

MEMS麦克风计划

MEMS麦克风计划职员需要钻研并优化频率相应、生动度、信噪比（SNR）、总谐波失真和等效输入噪声等环节机能目标。信噪比是一项环节机能目标，差别的电容式MEMS麦克风经历增长灯号（双层背板和双层膜片）或低落噪声（在两层膜片之间举行真空密封）来进步信噪比SNR。

对电容式MEMS麦克风及其机能特性的计划、建模和钻研能够在MEMS+®（CoventorMP® MEMS计划领域的构成片面）中举行。MEMS+供应差别MEMS布局的非线性和多物理参数模子，这些模子能够构成完备的MEMS麦克风计划。别的，还能够将MEMS+麦克风集成到Cadence Virtuoso®电路仿真应用中，这将使咱们能够经历特定的IC偏置前提模仿MEMS麦克风及其ASIC。